В сборнике описывается разработанная в Институте физики высоких энергий АН КазССР аппаратура для автоматизации физического эксперимента по обработке большого массива данных о ядерных взаимодействиях, а также ряд оригинальных приборов для исследования радиационных дефектов в полупроводниках. Большинство разработок выполнено на уровне изобретений, защищено авторскими свидетельствами и ориентировано на решение ряда задач в различных областях науки и техники. Книга рассчитана на научных работников, инженеров, занимающихся автоматизацией исследований и научным приборостроением.

Данное учебное пособие предназначено для сотрудников предприятий, занятых разработкой и изготовлением плазмохимического оборудования для повышения их квалификации путем приобретения компетенций в области плазмохимических технологий травления и осаждения материалов электронной и микросистемной техники. Пособие может быть полезно студентам старших курсов, обучаемых в рамках направлений «Наноматериалы» и «Материаловедение и технология материалов» по профилям, относящимся к технологии изделий микроэлектроники и микросистемной техники. В настоящем учебном пособии обсуждаются принципы построения плазмохимического оборудования, основанного на использовании низкотемпературной плазмы, создаваемой с помощью газовых разрядов при пониженных давлениях, основы процессов травления микроэлектронных структур, закономерности процессов плазмохимического травления и примеры их использования для травления разнообразных материалов, а также плазмохимические процессы осаждения слоев на примере нитрида кремния, как одних из наиболее сложных и трудных для практической реализации.