Применение метода рентгеновской дифракции для изучения тонких пленок и получения распределений структурно-чувствительных характеристик по глубине в поверхностных слоях материалов: научное издание / Ю. П. Миронов; Институт физики прочности и материаловедения СО РАН (Томск) //
Труды симпозиума. — 2010. —
. — С. 173-175.
Метод рентгеноструктурного анализа с использованием асимметричной схемы отражения развит до получения одномерных распределений структурно-чувствительных физических величин по глубине. Из получаемого в эксперименте набора усредненных величин по различным толщинам эффективно отражающего слоя, методика позволяет восстанавливать координатную зависимость этих величин. Методика может быть полезна при изучении физической и химической неоднородностей в поверхностном слое материала, создаваемых закалкой, различными видами поверхностного облучения, поверхностным легированием, наплавкой, нанесением пленок и т. д. В работе она применена для получения распределений по глубине нормальной и касательной микродеформаций, связанных с напряжениями 1-го рода, в подвергнутых электронному облучению образцах никелида титана с плоской поверхностью.