В настоящей монографии изложены современные представления о технологических физико-химических методах нанесения покрытий, процессах получения карбидохромовых покрытий, о процессах лазерной, электроразрядной, оптико-кавитационно-абразивной, электроэрозионной размерной обработки покрытий и непроводящих материалов. Изложены экологические аспекты при нанесении покрытий и производстве наноматериалов. При написании использован опыт, наработанный учеными и специалистами ОАО «Научно-производственное предприятие "Полигон-МТ"», ОАО МКБ «Искра» имени И. И. Картукова, кафедры ТОМПВЭ МАТИ— РГТУ имени К. Э. Циолковского, Научного центра порошкового материаловедения (г. Пермь). Авторы заранее благодарны за все возможные замечания и предложения со стороны заинтересованных читателей по содержанию и форме изложения материала и надеются, что предлагаемая книга послужит дальнейшему развитию исследований и инноваций в области нанесения защитных покрытий и высокоэнергетических технологий обработки материалов.

В справочнике приводятся данные о материалах, которые применяются при производстве микроэлектронных устройств, о способах очистки, механической, химической и электромеханической обработки. Рассмотрены вопросы диффузии, эпитаксии, выращивания монокристаллов полупроводников, вакуумного напыления, литографии и сборки в производстве микроэлектронных устройств. Для специалистов, работающих в области технологии микроэлектронных устройств, может быть полезен учащимся профтехучилищ соответствующего профиля.