| 1 |
|
Пучки распыляющих ионов : получение и применение / А. П. Семенов ; науч. ред. Г. А. Месяц; Бурятский научный центр СО Рос. АН, Отдел физических проблем. — Улан-Удэ: БНЦ СО РАН, 1999. — 207 с.: ил., табл. — ISBN 5-7925-0049-5: 10.86.
|
| 2 |
|
Магнетронные распылительные системы / А. И. Кузьмичёв. — Киев; : Аверс.
: Введение в физику и технику магнетронного распыления. — Киев: Аверс, 2008. — 244 с.: ил. — Библиогр.: с. 215-244. — ISBN 966-8934-07-5.
Рассмотрены физические основы магнетронного распыления и разновидности магнетронных систем для нанесения тонких плёнок и покрытий различного назначения, в том числе системы с усиленной ионизацией газовой среды и импульсные магнетронные распылительные системы. Для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов высших технических заведений, специализирующихся в области электронных физико-технических устройств и ионно-плазменных технологий для электроники, оптики и машиностроения.
|
| 3 |
|
Пучки ионов и атомов для управляемого термоядерного синтеза и технологических целей / М. Д. Габович, Н. В. Плешивцев, Н. Н. Семашко. — М.: Энергоатомиздат, 1986. — 249 с.: ил. — Предм. указ.: с. 245-247. — Библиогр.: с. 228-244. — 2.70.
|
| 4 |
|
Техника распыления ионными пучками / А. П. Семенов ; отв. ред. Ю. Л. Ломухин ; Рос. АН, Сиб. отд-ние, Бурятский научный центр, Ин-т естественных наук СО РАН. — Улан-Удэ: БНЦ СО РАН, 1996. — 120 с.: ил., табл. — ISBN 5-7623-1110-4: 8.58.
|
| 5 |
|
Cathodic Arc Synthesis of Ti-Si-C-N Thin Films: Plasma Analysis and Microstructure Formation / A. Eriksson. — Linköping: Linköping University, 2012. — 151 с.: ill. — (Linköping Studies in Science and Technology. Dissertations). — Ind.: p. 447-449. — ISBN 978-91-7519-714-2.
|
| 6 |
|
Физика тонких пленок. — М.; : Мир.
: Cовременное состояние исследований и технические применения / под общ. ред. Г. Хасса, Р. Э. Туна , пер. с англ. В. Б. Сандомирского, А. Г. Ждана. — М.: Мир, 1970. — 440 с.: ил. — Авт. указ.: с. 437. — Библиогр. в конце ст. — 2.10.
|
| 7 |
|
Импульсный магнетронный разряд с горячей мишенью: автореферат... канд. физ.-мат. наук : 1.3.9 / А. В. Тумаркин ; науч. рук. А. В. Казиев, офиц. оппоненты : В. П. Кривобоков, Л. Н. Лесневский, В. А. Лузанов; Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ" (М.), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (Томск), Московский авиационный институт (М.), Институт радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН, Фрязинский филиал. — М., 2022. — 26 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 23-25.
|
| 8 |
|
Рентгеновская оптика: сб. статей / АН СССР, Физический институт им. П. Н. Лебедева; отв. ред. тома А. Н. Ораевский. — М.: Наука, 1989. — 182 с.: ил. — (Труды Физического института им. П. Н. Лебедева АН СССР / гл. ред. Н. Г. Басов). — Библиогр. в конце ст. — ISBN 5-02-000019-1: 3.30. |
| 9 |
|
Источники широкоапертурных пучков ионов газов и металлов на основе дугового и тлеющего разрядов при пониженном давлении: дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.02 / Г. Ю. Юшков ; науч. конс. Е. М. Окс; Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск). — Томск, 2001. — 343 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 320-343.
|
| 10 |
|
Молекулярно-лучевая эпитаксия и гетероструктуры / под ред. Л. Ченга, К. Плога, пер. с англ. под ред. Ж. И. Алфёрова, Ю. В. Шмарцева. — М.: Мир, 1989. — 584 с.: ил. — Библиогр. в конце глав. — ISBN 5-03-000737-7: 5.90. |