| 161 |
|
Руководство по физической химии: учеб. пособие для хим.-технол. спец. вузов / Г. А. Голиков. — М.: Высшая школа, 1988. — 382, [2] с.: ил. — Предм. указ.: с. 368-378. — ISBN 5-06-001332-4: 1.10.
|
| 162 |
|
Технология, экономика и автоматизация процессов переработки нефти и газа = Technology, economics and automation of oil and gas refining processes: [учеб. пособие по специальности 130603 "Оборудование нефтегазопереработки"] / С. А. Ахметов, М. Х. Ишмияров, А. П. Веревкин [и др.] ; под ред. С. А. Ахметова. — М.: Химия, 2005. — 735 с.: ил.; 23 см. — (Для высшей школы). — Библиогр. в конце гл. — ISBN 5-98109-017-0: 715.00. |
| 163 |
|
Теория технологических процессов основного органического и нефтехимического синтеза: учеб. пособие для химико-технол. специальностей вузов / Н. Н. Лебедев, М. Н. Манаков, В. Ф. Швец ; под общ. ред. Н. Н. Лебедева. — М.: Химия, 1975. — 477 с.: ил. — Предм. указ.: с. 470-478. — Библиогр.: с. 468-469. — 1.25.
|
| 164 |
|
Импульсные лазеры на плотных газах : физика процессов и экспериментальная техника: учеб. пособие / В. Ф. Тарасенко, Б. Н. Пойзнер ; под ред. В. Г. Багрова; Томский государственный университет им. В. В. Куйбышева. — Томск: Издательство Томского университета, 1992. — 142 с.: ил. — Библиогр.: с. 130-138. — ISBN 5-7511-0302-5.
|
| 165 |
|
Аналитическая химия: учеб. пособие для хим.-биол. и биол.-хим. спец. пед. ин-тов / Н. Я. Логинов, А. Г. Воскресенский, И. С. Солодкин. — 2-е изд., перераб. — М.: Просвещение, 1979. — 479, [1] с.: ил., табл. — Библиогр.: с. 475. — 1.30.
|
| 166 |
|
Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии: монография / Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман. — М.: Техносфера, 2010. — 527 с.: ил. — (Мир материалов и технологий). — Библиогр. в конце гл. — ISBN 978-5-94836-222-9: 550.00.
Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии — реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания. Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химических соединений методом реактивного магнетронного сораспыления. Описана структура получаемых пленок и ее зависимость от параметров процесса нанесения. Приведены принципы конструирования источника высокочастотного разряда высокой плотности для ионного или плазмохимического прецизионного травления тонких пленок, а также его использования для стимулированного плазмой осаждения тонких пленок. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.
|
| 167 |
|
Вакуумная техника: учеб. пособие для вузов по спец. "Электрон. машиностроение" / Л. Н. Розанов. — 2-е изд., перераб. и доп. — М.: Высшая школа, 1990. — 319 с.: ил. — Предм. указ.: с. 315-317. — Библиогр.: с. 314. — ISBN 5-06-000479-1: 1.00.
|
| 168 |
|
Теоретические основы электротехники : учеб. для электротехн. спец. втузов : в 2-х т. / под ред. П. А. Ионкина. — М.; : Высшая школа.
: Нелинейные цепи и основы теории электромагнитного поля. — 2-е изд., перераб. и доп. — М.: Высшая школа, 1976. — 383 с.: ил. — Библиогр.: с. 377. — 0.86.
|
| 169 |
|
Проектирование технологических схем и оснастки: [учебное пособие по специальности "Технология машиностроения"] / Л. В. Лебедев [и др.]. — Москва: Академия, 2009. — 335, [1] с.: ил.; 22 см. — (Высшее профессиональное образование). — Авт. указаны на обороте тит. л. — Библиогр.: с. 330-332. — ISBN 978-5-7695-4944-1: 482.90.
Рассмотрены начала технологического проектирования производства деталей. Представлены схемы настройки станков. Описаны основы проектирования технологической оснастки. Приведены рекомендуемые этапы проектных работ, их содержание и последовательность выполнения, а также порядок и методики выполнения различных инженерных расчетов. Даны примеры, позволяющие интенсифицировать практические занятия. Для студентов высших учебных заведений.
|
| 170 |
|
Физико-химические процессы в технологии РЭА: учеб. для студ. вузов по спец. "Конструирование и производство РЭА" / В. Н. Черняев. — М.: Высшая школа, 1987. — 375 с.: ил., табл. — Предм. указ.: с. 367-371. — Библиогр.: с. 365-366. — 1.30.
|