| 191 |
|
Общие методы теории высокотемпературных процессов в тепловых двигателях / А. Ф. Дрегалин, А. С. Черенков ; под ред. В. Е. Алемасова. — М.: Янус-К, 1997. — 328 с.: ил. — Библиогр.: с. 327-328. — ISBN 5-88929-038-Х: 64.00.
|
| 192 |
|
Физические процессы в газовых лазерах / А. В. Елецкий, Б. М. Смирнов. — М.: Энергоатомиздат, 1985. — 152 с.: ил. — Библиогр.: с. 142-149. — 4.15.
|
| 193 |
|
Электронные возбуждения и радиолюминесценция щелочно-галлоидных кристаллов / Э. Д. Алукер, Д. Ю. Лусис, С. А. Чернов ; АН Латвийской ССР, Ин-т физики. — Рига: Зинатне, 1979. — 252 с.: ил. — Предм. указ.: с. 244-248. — Библиогр.: с. 226-243. — 3.46.
|
| 194 |
|
Вопросы теории атомных столкновений : межвуз. сб. / ЛГУ им. А. А. Жданова ; под ред. Г. Ф. Друкарева. — Л.; : Издательство Ленинградского университета.
:. — Л.: Издательство Ленинградского университета, 1980. — 180 с. — 1.90.
|
| 195 |
|
Теоретическая химия: учеб. пособие для хим. фак. клас. ун-тов / Д. В. Корольков, Г. А. Скоробогатов; Санкт-Петербургский гос. ун-т. — СПб.: Издательство Санкт-Петербургского университета, 2001. — 425, [2] с.: ил. — Предм. указ.: с. 418-421. — Библиогр.: с. 398-417. — ISBN 5-288-02414-6: 87.20.
|
| 196 |
|
Аналитическая химия: учеб. пособие для хим.-биол. и биол.-хим. спец. пед. ин-тов / Н. Я. Логинов, А. Г. Воскресенский, И. С. Солодкин. — 2-е изд., перераб. — М.: Просвещение, 1979. — 479, [1] с.: ил., табл. — Библиогр.: с. 475. — 1.30.
|
| 197 |
|
Растворитель как средство управления химическим процессом / Ю. Я. Фиалков. — Л.: Химия, 1990. — 236, [4] с.: ил., табл. — Предм. указ.: с. 231-234. — Библиогр.: с. 208-219. — ISBN 5-7245-0226-7: 3.20.
|
| 198 |
|
Статистическая теория диссипативных процессов в газах и жидкостях / В. Я. Рудяк ; отв. ред. Н. Г. Преображенский; АН СССР, Сиб. отд-ние, Институт теоретической и прикладной механики. — Новосибирск: Наука. Сибирское отделение, 1987. — 272 с.: ил. — Библиогр.: с. 251-270. — 3.40.
|
| 199 |
|
Термические превращения смол и асфальтенов тяжелых нефтей: дис. ... канд. хим. наук : 02.00.13 / Д. Е. Дмитриев [научный руководитель А. К. Головко]; Институт химии нефти СО РАН. — Томск, 2010. — 123 с. — С диссертацией можно ознакомиться в научной библиотеке Института химии нефти СО РАН. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 112-123.
|
| 200 |
|
Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии: монография / Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман. — М.: Техносфера, 2010. — 527 с.: ил. — (Мир материалов и технологий). — Библиогр. в конце гл. — ISBN 978-5-94836-222-9: 550.00.
Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии — реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания. Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химических соединений методом реактивного магнетронного сораспыления. Описана структура получаемых пленок и ее зависимость от параметров процесса нанесения. Приведены принципы конструирования источника высокочастотного разряда высокой плотности для ионного или плазмохимического прецизионного травления тонких пленок, а также его использования для стимулированного плазмой осаждения тонких пленок. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.
|