| 1 |
|
Материаловедение полупроводников и металловедение: учеб. пособие для вузов / С. С. Горелик, М. Я. Дашевский. — М.: Металлургия, 1973. — 500 с.: ил. — Библиогр.: с. 495-500. — 3.21.
|
| 2 |
|
Высокочастотный емкостный разряд. Физика. Техника эксперимента. Приложения: учеб. пособие для вузов по напр. "Техн. физика" / Ю. П. Райзер, М. Н. Шнейдер, Н. А. Яценко. — М.: МФТИ, 1995. — 320 с.: ил. — Библиогр.: с. 299-310. — ISBN 5-7417-0006-3.
|
| 3 |
|
Материалы электронной техники: учеб. пособие для вузов по спец. "Полупроводники и диэлектрики" и "Полупроводниковые и микроэлектронные приборы" / В. В. Пасынков. — М.: Высшая школа, 1980. — 406 с.: ил. — Алф. указ.: с. 403-406. — Библиогр.: с. 397. — 1.30.
|
| 4 |
|
Материаловедение полупроводников и диэлектриков: учеб. пособие для вузов / С. С. Горелик, М. Я. Дашевский. — 2-е изд., перераб. и доп. — М.: МИСИС, 2003. — 480 с.: ил. — Предм. указ.: с. 475-480. — ISBN 5-87623-018-7: 745.00.
|
| 5 |
|
Технология спецматериалов электронной техники: учеб. пособие для техникумов по спец. 2001 "Технология материалов электронной техники" / А. Я. Нашельский. — М.: Металлургия, 1993. — 368 с.: ил. — Библиогр.: с. 360. — ISBN 5-229-01064-9: 4000.00.
|
| 6 |
|
Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов: учеб. пособие для вузов / Ю. М. Таиров, В. Ф. Цветков. — 3-е изд., стереотип. — СПб.: Лань, 2002. — 424 с.: ил. — (Учебники для вузов. Специальная литература). — Предм. указ.: с. 419-421. — Библиогр.: с. 418. — ISBN 5-8114-0438-7: 110.00.
|
| 7 |
|
Электротехнические материалы: учеб. для электротехн. и энерг. спец. вузов / Н. П. Богородицкий, В. В. Пасынков, Б. М. Тареев. — 7-е изд., перераб. и доп. — Л.: Энергоатомиздат. Ленинградское отделение, 1985. — 304 с.: ил. — Алф. указ.: с. 299-302. — Библиогр.: с. 299. — 1.10.
|
| 8 |
|
Импульсный отжиг полупроводниковых материалов / А. В. Двуреченский [и др.] ; отв. ред. А. В. Ржанов; АН СССР, Сиб. отд-ние, Институт физики полупроводников. — М.: Наука, 1982. — 208 с.: ил. — Библиогр.: с. 204-206. — 2.30. |
| 9 |
|
Методы измерения параметров полупроводниковых материалов: учеб. для вузов по спец. "Полупроводниковые и микроэлектронные приборы" / Л. П. Павлов. — 2-е изд., перераб. и доп. — М.: Высшая школа, 1987. — 237 с.: ил. — Библиогр.: с. 237. — 0.85.
|
| 10 |
|
Справочник по технологии микроэлектронных устройств / З. Ю. Готра. — Львов: Каменяр, 1986. — 287 с.: ил. — Библиогр.: с. 284-285. — 1.00.
В справочнике приводятся данные о материалах, которые применяются при производстве микроэлектронных устройств, о способах очистки, механической, химической и электромеханической обработки. Рассмотрены вопросы диффузии, эпитаксии, выращивания монокристаллов полупроводников, вакуумного напыления, литографии и сборки в производстве микроэлектронных устройств. Для специалистов, работающих в области технологии микроэлектронных устройств, может быть полезен учащимся профтехучилищ соответствующего профиля.
|