Рассмотрены механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств. Обобщены данные по выращиванию монокристаллов, диффузии, эпитаксии, ионной имплантации, технологии тонких пленок, литографии, сборке и герметизации. значительное внимание уделено контролю, обеспечению качества и надежности при изготовлении микроэлектронных устройств. Для инженерно-технических работников, мастеров и квалифицированных рабочих, занимающихся производством МЭУ.

Публикация посвящена кристаллохимическому анализу структур неорганических соединений, содержащих в общих химических формулах по пять анионов и от одного до четырех катионов. Такие соединения насчитывают много представителей и порядка ста структурных типов. В составах с пятью анионами октаэдры образуют цепочки разной конфигурации и возможно образование плоских октаэдрических блоков. Приводятся результаты прогноза новых соединений 11 структурных типов, который основывается на кристаллохимических закономерностях образования структур. Количество известных соединений может быть увеличено в несколько раз. Среди прогнозируемых новых кристаллов возможны высокопрочные и высокотемпературные материалы на основе титанатов и цирконатов редкоземельных элементов; новые магнитные материалы с необычными характеристиками, галоидные соединения для лазерной техники ИК-диапазона. Монография предназначена для специалистов по кристаллографии, физике и химии твердого тела, материаловедению.

Описаны результаты исследования зеренно-субзеренной структуры (ЗСС) образцов субмикрокристаллического (СМК) никеля, подвергнутого низкотемпературному отжигу с помощью сканирующей туннельной микроскопии (СТМ). Представлены распределения ЗСС по размерам и оценка неравновесности границ зерен. Показана высокая эффективность метода СТМ для количественной характеристики эволюции ЗСС СМК простых металлов, полученных методом интенсивной пластической деформации и подвергнутых низкотемпературному отжигу.

Излагаются особенности термодинамических свойств, химической кинетики и термодинамики поверхностных явлений наночастиц и наноструктурированных материалов, обобщены современные представления об электрических, механических, оптических и химических свойствах различных композиционных материалов. Большое внимание уделяется относительной роли химических связей и взаимодействия применительно к нанообъектам. Проводится сравнительный анализ кристаллических структур микро- и наноматериалов. Предлагаются методики оценок влияния структурных особенностей нанообъектов на их свойства. Излагается инновационный подход к описанию особых физических и химических свойств наночастиц и наноструктурированных материалов. Предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по магистерской программе "Физика нанотехнолоий и наноразмерных структур" направления подготовки магистров "Техническая физика" при изучении дисциплин "Физик0-химические аспекты наноструктурированных материалов", "Специальные вопросы физики твердого тела". Пособие может быть также использовано при обучении в системах повышения квалификации, в учреждениях дополнительного профессионального образования и пр.

Методами дифференциальной сканирующей калориметрии, рентгеновской дифрактометрии, а также про¬свечивающей и растровой электронной микроскопии исследованы фазовые превращения и стабильность струк¬туры легированного цирконием ультрамелкозернистого сплава системы Al-Mg-Li при нагреве. Установлено, что при повышении температуры в сплаве формируются частицы S-фазы двух типов, отличающиеся структурой кри¬сталлической решетки. Показана важная роль S-фазы в обеспечении высокой термической стабильности ультрамелкозернистой структуры, полученной методами интенсивной пластической деформации.

Монография является пособием по составлению заявок на изобретения в области высоких и нанотехнологий. В ней на конкретных примерах с минимальным использованием специальной терминологии изложены методики патентования широкого круга объектов: от простейших до многокомпонентных нанотехнологических комплексов. Поэтому книга может быть полезна широкому кругу изобретателей.

Вашему вниманию предлагаются материалы Симпозиума Eurastrencolk-2004, посвященного памяти академика В. П. Ларионова, великого сына якутского народа, первого академика Российской академии наук из народа саха, который стоял у истоков организации ИФТПС СО РАН и научных исследований, направленных на повышение работоспособности техники и металлоконструкций в условиях холодного климата. В трудах симпозиума представлены материалы по проблемам прочности материалов и машин в условиях низких климатических температур, вопросы, касающиеся исследований вязко-хрупкого перехода, физико-химии и механики процессов разрушения материалов в экстремальных условиях. Особое место уделено решению проблем, связанных с разработкой теоретических основ создания новых материалов - металлов, сплавов и покрытий с высокими хладостойкими и износостойкими свойствами, композиционных и наноматериалов, полимерных материалов, материалов с уникальными свойствами. Рассмотрены задачи теплофизики и тепло-массопереноса в элементах конструкций, подвергшихся комбинированному воздействию низких температур и силового нагружения. Труды симпозиума будут полезны для широкого круга научных и инженерно-технических работников, аспирантов и специалистов, интересующихся вопросами энергетики, транспорта энергоресурсов и материаловедения в регионах холодного климата.