| 71 |
|
Цифровые измерительные устройства: учеб. пособие для вузов / В. Ю. Кончаловский. — М.: Энергоатомиздат, 1985. — 304 с.: ил. — Библиогр.: с. 300-302. — 0.90.
|
| 72 |
|
Плазмохимические процессы и оборудование: учеб. пособие / С. Е. Александров, А. А. Уваров; С.-Петерб. гос. политехн. ун-т. — СПб.: Издательство Политехнического университета, 2012. — 391 с.: ил.; 20 см. — (Вакуумная техника). — Библиогр.: с. 386-390. — ISBN 978-5-7422-3668-9: 550.00.
Данное учебное пособие предназначено для сотрудников предприятий, занятых разработкой и изготовлением плазмохимического оборудования для повышения их квалификации путем приобретения компетенций в области плазмохимических технологий травления и осаждения материалов электронной и микросистемной техники. Пособие может быть полезно студентам старших курсов, обучаемых в рамках направлений «Наноматериалы» и «Материаловедение и технология материалов» по профилям, относящимся к технологии изделий микроэлектроники и микросистемной техники. В настоящем учебном пособии обсуждаются принципы построения плазмохимического оборудования, основанного на использовании низкотемпературной плазмы, создаваемой с помощью газовых разрядов при пониженных давлениях, основы процессов травления микроэлектронных структур, закономерности процессов плазмохимического травления и примеры их использования для травления разнообразных материалов, а также плазмохимические процессы осаждения слоев на примере нитрида кремния, как одних из наиболее сложных и трудных для практической реализации.
|
| 73 |
|
Мощные первичные накопители с временем вывода энергии менее 1 МКС: дис. ... д-ра техн. наук в виде научного доклада : 01.04.13 / А. А. Ким ; офиц. оппоненты: Ф. Г. Рутберг, С. Н. Рукин, Н. А. Ратахин; Институт сильноточной электроники СО АН СССР (Томск), Научно-исследовательский институт электрофизической аппаратуры им. Д. В. Ефремова (СПб.). — Томск, 2001. — 59 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 58-59.
|
| 74 |
|
500 практических схем на популярных ИС: пер. с англ. : справ. изд. / Д. Ленк. — М.: ДМК Пресс, 2001. — 448 с.: ил. — (Учебник). — ISBN 5-94074-043-X: 99.00.
|
| 75 |
|
Технологическое проектирование микросхем СВЧ: учеб. пособие для вузов по спец. "Проектирование и технология радиоэлектрон. средств" / И. П. Бушминский, Г. В. Морозов. — М.: МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2001. — 356 с.: ил. — Библиогр.: с. 352. — ISBN 5-7038-1687-4: 145.50.
|
| 76 |
|
Лазерная обработка неметаллических материалов: учеб. пособие для втузов / А. Г. Григорьянц, А. А. Соколов; под ред. А. Г. Григорьянца. — М.: Высшая школа, 1988. — 187 с.: ил. — (Лазерная техника и технология: в 7 кн.). — Библиогр.: с.189. — ISBN 5-06-001453-3: 0.40.
|
| 77 |
|
Электронные устройства автоматики и телемеханики: учебник для студ. вузов обуч. по спец. "Автоматика и телемеханика" / В. К. Захаров, Ю. И. Лыпарь. — 3-е изд., перераб. и доп. — Л.: Энергоатомиздат. Ленинградское отделение, 1984. — 432 с.: ил. — Предм. указ.: с. 429-430. — Библиогр.: с. 428. — 1.40.
|
| 78 |
|
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : учеб. пособие для вузов: в 2 т . / под общ. ред. Ю. Н. Коркишко. — М.; : БИНОМ. Лаборатория знаний.
: Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. — М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. — 392 с. — Библиогр.: с. 386-389. — ISBN 978-5-9963-0335-9: 375.00.
Распределение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро- и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне самостоятельный интерес. В первом томе основное внимание обращается на анализ физико-химических основ ключевых технологических процессов микроэлектроники, таких как гетерогенное фазообразование, перераспределение вещества при термической и нетермической активации процессов, фотохимическое воздействие различных излучений, полей и др. Взаимосвязь этих процессов на протяжении всего технологического цикла изготовления интегральных схем устанавливается путем рассмотрения проблем межфазного взаимодействия в неравновесных микрогетерогенных системах, совместимости контактирующих материалов, анализа критериев, позволяющих прогнозировать физико-химический характер взаимодействия с использованием диаграмм фазовых равновесий. Для студентов, изучающих технологию микроэлектроники и радиотехнических микроэлектронных устройств, аспирантов и специалистов.
|
| 79 |
|
Оптические квантовые генераторы. Специальный практикум: учеб. пособие для студ. физических спец. вузов / Я. О. Довгий. — Киев: Вища школа, 1977. — 230 с.: ил. — Библиогр. в конце частей. — 0.57.
|
| 80 |
|
Микроэлектроника : учеб. пособие для втузов : в 9-ти кн. / под ред. Л. А. Коледова. — М.; : Высшая школа.
: Гибридные интегральные функциональные устройства / Г. А. Блинов. — М.: Высшая школа, 1987. — 111 с.: ил. — Библиогр.: с. 110. — 0.20.
|