Пособие посвящено описанию основных закономерностей физики разреженных газов, теоретических основ процесса откачки газов и паров, взаимодействию газов с поверхностью, технике получения вакуума, измерения полных и парциальных давлений, основам построения вакуумных систем. Описаны основы общей теории рефрижераторов и ожижителей, общие принципы построения схем криогенных установок, представлены принципиальные схемы наиболее распространенных рефрижераторов с нестационарными потоками. Предназначено для магистрантов высших учебных заведений, обучающихся по магистерским программам направления подготовки 140400 «Техническая физика», предусматривающим изучение и использование вакуумной физики и физики низких температур (в том числе и для студентов, осваивающих инновационную магистерскую программу СПбГПУ «Биоэлектроника» данного направления). Может быть использовано обучающимися по направлению 210100 «Электроника и микроэлектроника», а также аспирантами и специалистами, работающими в экспериментальной технической физике.

Книга известного специалиста Национальной Физической Лаборатории (NPL, Великобритания) последовательно рассматривает инженерные аспекты достижения нанометровой точности измерений перемещений и параметров рельефа поверхности, контроля параметров макрообъектов с помощью координатно-измерительных машин, различных зондовых, оптических и электронных средств измерений (включая вопросы обеспечения прослеживаемое™ измерений длины с помощью лазерной интерферометрии и калибровочных образцов). Также рассмотрены вопросы прецизионных измерений масс. Для студентов и преподавателей технических университетов, специалистов промышленных предприятий, инженеров-разработчиков и исследователей.