1 |
|
Вакуумные машины и установки / Л. Н. Розанов. — Л.: Машиностроение. Ленинградское отделение, 1975. — 336 с.: ил. — Библиогр.: с. 332-334. — 1.19.
В книге изложены вопросы, связанные с проектированием и эксплуатацией вакуумного оборудования. Рассмотрены теоретические основы вакуумной техники. Описаны конструкции элементов вакуумных систем, откачных машин, напылительных установок. Изложена методика проектирования вакуумных систем по коэффициенту использования насосов, имеются примеры расчетов для типовых вакуумных систем различных машин.Книга предназначена для инженерно-технических работников, проектирующих и эксплуатирующих вакуумное оборудование. Она также может быть полезна студентам вузов, специализирующихся по электровакуумному и полупроводниковому оборудованию.
|
2 |
|
Вакуумные измерения / В. В. Кузьмин. — М.: Издательство стандартов, 1992. — 227 с.: ил. — Библиогр.: с. 221-225. — 7.00.
|
3 |
|
Турбомолекулярные вакуум-насосы / Е. С. Фролов. — М.: Машиностроение, 1980. — 119 с.: ил. — Библиогр.: с. 115-117. — 0.40.
|
4 |
|
Конструирование и расчет вакуумных систем / А. И. Пипко, В. Я. Плисковский, Е. А. Пенчко. — 3-е изд., перераб. и доп. — М.: Энергия, 1979. — 504 с.: ил. — Библиогр.: с. 496-500. — 1.70.
|
5 |
|
Вакуумные системы электропечей и их инженерный расчет / М. Н. Ковалев, Ю. Э. Васильев. — М.: Энергоатомиздат, 1983. — 112 с.: ил. — (Библиотека электротермиста). — Библиогр.: с. 110-111. — 0.35.
|
6 |
|
Нераспыляемые газопоглотители / В. Ф. Попов. — Л.: Энергия. Ленинградское отделение, 1975. — 104 с.: ил. — Библиогр.: с. 101-103. — 0.28.
|
7 |
|
Безмасляные вакуумные насосы / В. И. Иванов. — Л.: Машиностроение. Ленинградское отделение, 1980. — 160 с.: ил. — Библиогр.: с. 156-159. — 0.55.
|
8 |
|
Вакуумная техника: учеб. пособие для вузов по спец. "Электрон. машиностроение" / Л. Н. Розанов. — 2-е изд., перераб. и доп. — М.: Высшая школа, 1990. — 319 с.: ил. — Предм. указ.: с. 315-317. — Библиогр.: с. 314. — ISBN 5-06-000479-1: 1.00.
|
9 |
|
Вакуумная техника: учебник для студ. вузов обуч. по спец. "Полупроводниковое и электровак. машиностроение" / Л. Н. Розанов. — М.: Высшая школа, 1982. — 207 с.: ил. — Библиогр.: с. 205. — 0.45.
В книге даны основные представления о физике вакуума; рассмотрены процессы переноса при низких давлениях, сорбционные процессы, течение газов по трубопроводам; обсуждены принципы действия основных типов вакуумных насосов, их характеристики и возможности непользования в различных системах откачки; описаны способы измерения вакуума, анализ парциальных давлений, течеискание; приведены типовые схемы вакуумных машин и установок, дан общий порядок расчета и проектирования вакуумных систем.Предназначается для студентов специальности "Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение".
|
10 |
|
Вакуумметрическая аппаратура техники высокого вакуума и течеискания / В. В. Кузьмин, Л. Е. Левина, И. В. Творогов. — М.: Энергоатомиздат, 1984. — 240 с.: ил. — Библиогр.: с. 229-237. — 0.95.
|