| 181 |
|
Ненакаливаемый эмиттер электронов на основе тонкопленочной системы металл-диэлектрик-металл при низких температурах: дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.02 / М. Б. Хаскельберг ; науч. рук. Ю. Б. Янкелевич; Томский государственный педагогический институт им. Ленинского Комсомола (Томск). — Томск, 1991. — 226 с. — Для служебного пользования. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 204-223.
|
| 182 |
|
Модификация поверхности металлов методом ионно-лучевого смешивания: автореферат дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 / И. Г. Мурзин ; науч. рук. Л. П. Чупятова, офиц. оппоненты: В. Н. Мордкович, Г. В. Гордеева; Московский институт стали и сплавов (М.), ЦНИИЧЕРМЕТ. — М., 1992. — 25 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 24-25.
|
| 183 |
|
Физические основы микроэлектроники: учеб. пособие для вузов по спец. "Проектирование и технология радиоэлектронных средств" направления "Проектирование и технология электрон. средств" / В. И. Марголин, В. А. Жабрев, В. А. Тупик. — М.: Академия, 2008. — 398, [1] с.: ил.; 22 см. — (Высшее профессиональное образование). — Библиогр.: с. 395. — ISBN 978-5-7695-4227-5: 543.00.
Изложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и фрактальной физики, нелинейной динамики. Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро- и наноэлектроники : получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы контроля и метрологии. Для студентов высших учебных заведений.
|
| 184 |
|
Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника: физика, технология, диагностика и моделирование: [посвящ. 70-летию со дня рождения А. А. Орликовского] / Физико-технологический институт РАН; отв. ред. В. Ф. Лукичев. — М.: Наука, 2008. — 246, [1] с.: ил.; 24 см. — (Труды ФТИАН / Рос. акад. наук, Физ.-технол. ин-т ; гл. ред. К. А. Валиев, 0868-7129). — Библиогр. в конце ст. — ISBN 978-5-02-036641-1: 229.50.
Сборник посвящен актуальным проблемам математического моделирования субмикронных технологий и квантовых наноприборов. Основное внимание уделено наиболее важным проблемам, таким как фотолитография, травление и осаждение тонких пленок, электронная литография, надежность соединений и корпусов микросхем, квантовое поведение нанотранзисторов. Отдельно рассмотрены квантовые модели структур с пониженной размерностью, спиновых структур, методы квантовой обработки и передачи информации, в частности квантовой криптографии. Обсуждается возможность построения полномасштабного твердотельного квантового компьютера на ядерных спинах кремния. Для специалистов в области микро- и наноэлектроники, аспирантов и студентов старших курсов соответствующих специальностей.
|
| 185 |
|
Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника: физика, технология, диагностика и моделирование: [сб. ст.] / отв. ред. А. А. Орликовский. — М.: Наука, 2005. — 414,[1] с.: ил.; 24 см. — (Труды ФТИАН / Рос. акад. наук, Физ.-технол. ин-т ; гл. ред. К. А. Валиев, 0868-7129). — Библиогр. в конце ст. — ISBN 5-02-033950-4: 194.00. |
| 186 |
|
Thin film materials technology: Sputtering of compound materials / K. Wasa, M. Kitabatake, H. Adachi. — Norwich: William Andrew, 2004. — 518 с.: ill. — (Related electronic materials and process technology). — Ind.: p. 501-518. — Bibliogr. at the end of the chapters. — ISBN 3-540-21118-7: 5680.00.
|
| 187 |
|
XVIII Российская конференция по электронной микроскопии: Тезисы докладов / Рос. АН, Науч. совет по электронной микроскопии, Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов, Ин-т кристаллографии. — Черноголовка: Богородский печатник, 2000. — 338 с.: ил. — Авт. указ.: с. 331-338. — ISBN 5-89589-020-2: 76.80.
|
| 188 |
|
XVII Российская конференция по электронной микроскопии: Тезисы докладов / Рос. АН, Науч. совет по электронной микроскопии, Ин-т кристаллографии, Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов. — Черноголовка: Богородский печатник, 1998. — 326 с.: ил. — Авт. указ.: с. 319-325. — ISBN 5-89589-004-0: 25.00.
|
| 189 |
|
Техника распыления ионными пучками / А. П. Семенов ; отв. ред. Ю. Л. Ломухин ; Рос. АН, Сиб. отд-ние, Бурятский научный центр, Ин-т естественных наук СО РАН. — Улан-Удэ: БНЦ СО РАН, 1996. — 120 с.: ил., табл. — ISBN 5-7623-1110-4: 8.58.
|
| 190 |
|
Исследование приповерхностного слоя магнитной жидкости вблизи металлического и полупроводникового электродов по оптическим и электрофизическим измерениям: автореферат дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.13 / А. А. Гетманский ; науч. рук. В. В. Чеканов, офиц. оппоненты: В. В. Соколов, А. Я. Симоновский; Ставропольский государственный университет (Ставрополь), Курский государственный технический университет (Курск). — Ставрополь, 2009. — 20 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 19-20.
|