| 111 |
|
Нанотехнология: физико-химия нанокластеров, наноструктур и наноматериалов / И. П. Суздалев. — 2-е изд., испр. — М.: URSS, 2009. — 592 с.: ил. — (Синергетика: от прошлого к будущему). — ISBN 978-5-397-00217-2: 412.00.
Книга включает круг вопросов, которые могут составить область науки о нанообъектах, процессах и явлениях, проходящих на уровне размеров 1-100 нм. В этой области наблюдаются эффекты, чувствительные как к отдельным атомно-молекулярным уровням энергии, так и к коллективным свойствам тел. Развитие науки о нанокластерах и наносистемах и методов их исследования привело к созданию нанотехнологии, наноматериалов и наноустройств, отличающихся уникальными свойствами и перспективами применения. Книга представляет собой попытку соединения теоретических и экспериментальных данных о нанокластерах и наносистемах с некоторыми вопросами более общего, вводного характера: методами исследования нанокластеров и поверхности твердого тела и микроскопическими и термодинамическими подходами к изучению нанокластеров и поверхности. Такая структура книги нашла свое отражение благодаря работам автора в Институте химической физики им. Н. Н. Семенова РАН и чтению курса лекций по физико-химии нанокластеров и наноструктур в Московском государственном университете им. М. В. Ломоносова, на факультете наук о материалах. Книга может быть полезной как для студентов и аспирантов, так и для научных работников, ведущих исследования или начинающих работать в области нанотехнологии.
|
| 112 |
|
Физика за рубежом 1987: сб. ст. : пер. с англ., франц. / под ред. А. С. Боровика-Романова, Р. З. Сагдеева. — М.: Мир, 1987. — 271 с.: ил. — (Серия А. Исследования). — Библиогр. в конце ст. — 0.95. |
| 113 |
|
Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии: монография / Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман. — М.: Техносфера, 2010. — 527 с.: ил. — (Мир материалов и технологий). — Библиогр. в конце гл. — ISBN 978-5-94836-222-9: 550.00.
Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии — реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания. Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химических соединений методом реактивного магнетронного сораспыления. Описана структура получаемых пленок и ее зависимость от параметров процесса нанесения. Приведены принципы конструирования источника высокочастотного разряда высокой плотности для ионного или плазмохимического прецизионного травления тонких пленок, а также его использования для стимулированного плазмой осаждения тонких пленок. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.
|
| 114 |
|
Тройные полупроводниковые соединения в системах А1-Вv-Cvi / В. Б. Лазарев, С. И. Беруль, А. В. Салов. — М.: Наука, 1982. — 147, [5] с.: ил., табл. — Библиогр.: с. 137-146. — 1.60.
|
| 115 |
|
Особенности структурных превращений в процессе формирования нанокристаллических и аморфных состояний в В2 фазе никелида титана при пластической деформации кручением под давлением: научное издание / Н. С. Сурикова, А. Н. Тюменцев, Г. Ф. Корзникова; Институт физики прочности и материаловедения СО РАН (Томск), Сибирский физико-технический институт им. В. Д. Кузнецова (Томск), Институт проблем сверхпластичности металлов РАН (Уфа) // Перспективные материалы. — 2009. — NСпец. вып. (7) . — С. 305-309. — ISSN 1028-978X. Проведено электронно-микроскопическое исследование структурных превращений в [001] монокристаллах TiNi(Fe,Mo) при интенсивной пластической деформации кручением под давлением (ИПДК) в зависимости от степени деформации.
|
| 116 |
|
Технология тонких пленок : справочник : в 2-х т. / под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга, пер. с англ. под ред. М. И. Елинсона, Г. Г. Смолко. — М.; : Советское радио.
:. — М.: Советское радио, 1977. — 664 с.: ил. — 4.02.
|
| 117 |
|
Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок / Б. С. Данилин. — М.: Энергоатомиздат, 1989. — 327 с.: ил. — Библиогр.: с. 316-324. — ISBN 5-283-03939-0: 3.60.
|
| 118 |
|
Оптика фотокатодов / В. Е. Кондрашов. — М.: Наука. Физматлит, 1976. — 207 с.: ил. — Библиогр.: с. 198-207. — 0.94.
|
| 119 |
|
Физическая электроника : респ. межвед. науч.-техн. сб. / Львовский политехнический институт ; редкол. : И. Д. Набитович (отв. ред.) [и др.]. — Львов; : Вища школа.
:. — Львов: Вища школа, 1981. — 155 с.: ил. — Библиогр. в конце ст. — 1.30.
|
| 120 |
|
Физическая электроника : респ. межвед. науч.-техн. сб. / Львовский политехнический институт ; редкол. : И. Д. Набитович (отв. ред.) [и др.]. — Львов; : Вища школа.
:. — Львов, 1981. — 160 с.: ил. — Библиогр. в конце ст. — 1.30.
|