Сводный электронный каталог

научно-технических библиотек Томского научного центра СО РАН

Результат поиска

Результаты: 41 - 50 из 5726 для dc.subject any/relevant "МИКРОЛИТОГРАФИЯ ... ( 0.519 сек.)

41
Данилин, Борис Степанович.
Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок / Б. С. Данилин. — М.: Энергоатомиздат, 1989. — 327 с.: ил. — Библиогр.: с. 316-324. — ISBN 5-283-03939-0: 3.60.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
42
Петербургский журнал электроники / Российский научно-исследовательский институт "Электростандарт"; Российский научно-исследовательский институт "Электростандарт". — 1993-. — СПб.: Электронстандарт, 1993-. — Периодичность: 4 в год (ежеквартально).
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
43
Материаловедение в машиностроении и промышленных технологиях: учебно-справочное руководство / В. А. Струк [и др.]. — Долгопрудный: Интеллект, 2010. — 536 с. — Предм. указ.: с. 532-535. — ISBN 978-5-91559-068-6: 1540.00.
В учебно-справочном руководстве изложены основы материаловедения машиностроительных материалов: металлов, полимеров, керамики, древесины и композитов на их основе. Приведены сведения о физико-химических процессах формирования структуры материалов при различных видах энергетических воздействий. Для всех типов материалов дан анализ взаимосвязи их структуры и свойств. Рассмотрены технико-экономические аспекты выбора материалов для различных узлов машин и механизмов. В издании впервые изложена ведущая тенденция современного материаловедения: эволюция материалов от обычных к многофункциональным, далее к активным. а затем к "умным", уделено внимание специальным материалам с особыми физическими свойствами (магнитные, высокоомные материалы, сверхпроводники, сплавы с "эффектом памяти" и др.), а также методам инженерии поверхности и высокоэнергетическим технологиям модифицирования поверхностных слоев машиностроительных изделий, высокоскоростной кристаллизации материалов, нанесению покрытий и др. Для студентов машиностроительных и технологических специальностей. Книга будет полезна магистрантам и аспирантам, а также слушателям системы послевузовской подготовки, конструкторам и технологам промышленных предприятий.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
44
Справочник Шпрингера по нанотехнологиям : в 3-х томах / Московский государственный институт электронной техники (технический университет) (М.), Научно-производственный комплекс "Технологический центр" ; под ред. Б. Бхушана, пер. с англ. под общей ред. А. Н. Саурова.
:. — М.: Техносфера, 2010. — 1040 с.: ил. — Изд. осуществлено при финансовой поддержке РФФИ по проекту № 09-08-07050-д. — Библиогр. в конце глав. — ISBN 978-5-94836-263-2: 1600.00.
Первое издание справочника по нанотехнологиям. выпущенное крупнейшим немецким издательством "Шпрингер" в 2004 году, заявило о себе как об основном источнике информации в области научных знаний о нанотехнологиях. Справочник объединяет сведения по технология, механике. материаловедению и надежности. Второе издание увеличилось с 6 до 8 частей, с 38 до 58 глав. Первая часть - введение в наноструктуры и технологии изготовления микро- и наноструктур. включая используемые при этом методы и материалы. Вторая часть справочника посвящена МЭМС/НЭМС и БиоМЭМС/БиоНЭМС приборам. Различные типы сканирующей зондовой микроскопии рассмотрены в третьей части. Четвертая часть посвящена обору нанотрибологии и наномеханики. Обзор смазок на пленках молекулярной толщины представлен в пятой части справочника. Шестая часть знакомит читателя с некоторыми применениями нанотехнологий в промышленном масштабе. седьмая сфокусирована на надежности микроприборов. И, наконец, последняя посвящена технологической конвергенции, которую несут с собой нанотехнологии, в ней также рассмотрены социальные, этические и политические последствия нанотехнолоий. Предметный указатель приведен в конце третьего тома. Книга подготовлена опытным редактором и написана командой из 150 известных международных экспертов. Она адресована инженерам-механикам и инженерам-электрикам. специалистам по материаловедению, медикам и химикам, которые работают в области нано-, или в областях, так или иначе связанных с этой новой важнейшей технологией.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
45
Прогрессивные режущие инструменты и режимы резания металлов: справочник / В. И. Баранчиков [и др.] ; под общ. ред. В. И. Баранчикова, рец. М. Г. Шеметов. — М.: Машиностроение, 1990. — 400 с.: ил. — Библиогр.: с. 394 ; Предм. указ.: с. 395-399. — ISBN 5-217-01118-1: 7.38.
Приведены новые прогрессивные и перспективные конструкции режущих инструментов различных типов и технологические процессы их изготовления. Даны рекомендации по дроблению стружки при работе на токарных станках и области применения инструментальных материалов. Режимы резания по каждому виду обработки изложены в виде матричных таблиц для каждой группы обрабатываемых материалов и поправочных коэффициентов на скорость резания и подачу для различных условий обработки. Такое изложение режимов резания позволяет выполнять их расчет на ЭВМ при разработке технологических процессов с использованием САПР. Для инженерно-технических работников машиностроительных предприятий, научно-исследовательских институтов, отраслевых лабораторий: может быть полезен для студентов втузов.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
46
Александров, Сергей Евгеньевич.
Плазмохимические процессы и оборудование: учеб. пособие / С. Е. Александров, А. А. Уваров; С.-Петерб. гос. политехн. ун-т. — СПб.: Издательство Политехнического университета, 2012. — 391 с.: ил.; 20 см. — (Вакуумная техника). — Библиогр.: с. 386-390. — ISBN 978-5-7422-3668-9: 550.00.
Данное учебное пособие предназначено для сотрудников предприятий, занятых разработкой и изготовлением плазмохимического оборудования для повышения их квалификации путем приобретения компетенций в области плазмохимических технологий травления и осаждения материалов электронной и микросистемной техники. Пособие может быть полезно студентам старших курсов, обучаемых в рамках направлений «Наноматериалы» и «Материаловедение и технология материалов» по профилям, относящимся к технологии изделий микроэлектроники и микросистемной техники. В настоящем учебном пособии обсуждаются принципы построения плазмохимического оборудования, основанного на использовании низкотемпературной плазмы, создаваемой с помощью газовых разрядов при пониженных давлениях, основы процессов травления микроэлектронных структур, закономерности процессов плазмохимического травления и примеры их использования для травления разнообразных материалов, а также плазмохимические процессы осаждения слоев на примере нитрида кремния, как одних из наиболее сложных и трудных для практической реализации.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
47
Марголин, Владимир Игоревич.
Физические основы микроэлектроники: учеб. пособие для вузов по спец. "Проектирование и технология радиоэлектронных средств" направления "Проектирование и технология электрон. средств" / В. И. Марголин, В. А. Жабрев, В. А. Тупик. — М.: Академия, 2008. — 398, [1] с.: ил.; 22 см. — (Высшее профессиональное образование). — Библиогр.: с. 395. — ISBN 978-5-7695-4227-5: 543.00.
Изложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и фрактальной физики, нелинейной динамики. Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро- и наноэлектроники : получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы контроля и метрологии. Для студентов высших учебных заведений.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
48
Нано: структуры, материалы и технологии: научное издание / Е. А. Будовских [и др.] ; рец.: В. И. Данилов, В. Я. Целлермаер; Сибирский государственный индустриальный университет (Новокузнецк). — Новокузнецк: ОАО "Новокузнецкий полиграфический комбинат", 2010. — 201 с.: ил. — (Фундаментальные проблемы современного материаловедения). — Библиогр.: с. 161-201. — ISBN 978-5-91797-002-8: 180.00.
В монографии представлены результаты анализа научных информационных источников для систематизации последних достижений в области наноматериалов и нанотехнологий. Основной акцент сделан на возможности использования наноматериалов в металлургии. Рассмотрены современные методы создания наноструктур, нанокомпозитных покрытий, модифицирования и легирования металлов и сплавов для формирования нанокристаллического состояния. Книга предназначена для научных и инженерно-технических работников научно-исследовательских институтов, заводских лабораторий, специализирующихся в области физики конденсированного состояния, металловедения и термической обработки металлов и сплавов, обработки металлов давлением. металлургии черных и цветных металлов и может быть полезна аспирантам и студентам старших курсов соответствующих специальностей.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
49
Еланский, Геннадий Николаевич.
Основы производства и обработки металлов: [учеб. для вузов по направлению 651300 "Металлургия"] / Г. Н. Еланский, Б. В. Линчевский, А. А. Кальменев ; рец.: С. Н. Падерин, В. Е. Рощин; Московский гос. горный ун-т. — М.: МГВМИ, 2005. — 417 с.: ил.; 21 см. — Библиогр.: с. 410. — ISBN 5-94475-018-9: 150.
В книге рассмотрены основные технологические процессы производства железа, чугуна, стали, методы разливки стали, способы внепечной обработки металла. Описываются металлургические способы производства меди, никеля, алюминия, титана, вольфрама и молибдена. Специальные разделы посвящены обработке металлов давлением и термической обработке. Кратко изложены основы литейного производства, сварочной техники и пайки металлов, способы получения изделий из порошкообразных материалов. Учебник предназначен для студентов, обучающихся по направлению Металлургия 651300 по специальностям: 150101, 150102, 150103, 150104, 150105, 150106, 150107, 150108, а также по другим родственным специальностям.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
50
Черняев, Владимир Николаевич.
Физико-химические процессы в технологии РЭА: учеб. для студ. вузов по спец. "Конструирование и производство РЭА" / В. Н. Черняев. — М.: Высшая школа, 1987. — 375 с.: ил., табл. — Предм. указ.: с. 367-371. — Библиогр.: с. 365-366. — 1.30.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи