Сводный электронный каталог

научно-технических библиотек Томского научного центра СО РАН

Результат поиска

Результаты: 21 - 30 из 5726 для dc.subject any/relevant "МИКРОЛИТОГРАФИЯ ... ( 0.483 сек.)

21
Кагадей, Валерий Алексеевич.
Явления на поверхности и в приповерхностных слоях полупроводниковых материалов при воздействии пучков электронов и атомов водорода: дис. ... д-ра физ.-мат. наук в виде научного доклада: 01.04.04, 01.04.10 / В. А. Кагадей ; офиц. оппоненты: И. П. Чернов, Б. З. Ольшанецкий, Н. Г. Ремпе; Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск), Научно-исследовательский институт полупроводниковых приборов (Томск), Физико-технологический институт РАН (М.). — Томск, 2004. — 83 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 77-83.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
22
Технологические проблемы микроэлектроники / АН СССР, Институт общей физики; отв. ред. : Т. М. Махвиладзе, А. В. Раков. — М.: Наука, 1988. — 169 с.: ил. — (Труды Института общей физики АН СССР / гл. ред. А. М. Прохоров, 0233-9390). — Библиогр. в конце ст. — ISBN 5-02-000723-4: 2.60.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
23
Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов / Дж. Р. Брюэр [и др.] ; под ред. Дж. Р. Брюэра, пер. с англ. под ред. Ф. П. Пресса. — М.: Радио и связь, 1984. — 336 с.: ил. — Библиогр.: с. 316-328. — 1.90.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
24
Озур, Григорий Евгеньевич.
Генерация низкоэнергетичных сильноточных электронных пучков в пушке с плазменным анодом: дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.02 / Г. Е. Озур ; науч. рук. Д. И. Проскуровский; Институт сильноточной электроники СО АН СССР (Томск). — Томск, 1991. — 161 с. — Для служебного пользования. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 148-161.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
25
Справочник технолога-машиностроителя : В 2 т. / под ред.: А. М. Дальского, А. Г. Косиловой, Р. К. Мещерякова, А. Г. Суслова. — М.;.
:. — М., 2003. — 943 с.: ил. — Предм. указ.: с. 928-941. — ISBN 5-94275-015-7. — ISBN 5-217-03085-2: 1650.00.
Во 2-ом томе приведены сведения о металлорежущих станках, станочных приспособлениях, режущих инструментах, режимах резания, допусках и посадках, методах и средствах измерения, обработке поверхностей пластическим деформированием и технологии сборки. Пятое издание (4-е изд. 1985 г.) переработано в соответствии с действующими стандартами; дополнено новыми главами по смазочно-охлаждающим средам, электрофизической, электрохимической и лазерной обработкам, технологии нанесения покрытий, термической обработке, нормированию и функционально-стоимостному анализу процессов. Расширены главы по технико-экономическим расчетам, режимам резания, режущему инструменту, технологии сборники, станочным приспособлениям. Для инженерно-технических работников всех отраслей машиностроения, может быть полезен преподавателям и студентам втузов.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
26
Проблемы литографии в микроэлектронике / АН СССР, Институт общей физики; отв. ред. тома Т. М. Махвиладзе. — М.: Наука, 1987. — 149 с.: ил. — (Труды Института общей физики АН СССР / гл. ред. А. М. Прохоров). — 1.90.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
27
Берлин, Евгений Владимирович.
Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии: монография / Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман. — М.: Техносфера, 2010. — 527 с.: ил. — (Мир материалов и технологий). — Библиогр. в конце гл. — ISBN 978-5-94836-222-9: 550.00.
Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии — реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания. Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химических соединений методом реактивного магнетронного сораспыления. Описана структура получаемых пленок и ее зависимость от параметров процесса нанесения. Приведены принципы конструирования источника высокочастотного разряда высокой плотности для ионного или плазмохимического прецизионного травления тонких пленок, а также его использования для стимулированного плазмой осаждения тонких пленок. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
28
Проблемы субмикронной технологии / Рос. АН, Физико-технологический институт; отв. ред. тома А. А. Орликовский. — М.: Наука, 1993. — 113 с.: ил. — (Труды Физико-технологического института РАН / гл. ред. К. А. Валиев, 0868-7129). — Библиогр. в конце ст. — ISBN 5-02-006991-4: 200.00.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
29
Каменичный, Иосиф Соломонович.
Краткий справочник термиста: справочник / И. С. Каменичный. — 2-е изд., испр. и доп. — М.: Государственное научно-техническое издательство машиностроительной литературы, 1959. — [280] с.: ил. — Библиогр.: с. 277-278.
В справочнике даны необходимые сведения о режимах термической обработки и составах стали, чугуна, сплавов цветных и легких металлов, описаны технологические процессы термической обработки инструмента, деталей станков, автомобилей и сельскохозяйственных машин, изготовления сварного инструмента, а также приведены краткие данные о режимах ковки стали и цветных металлов. Справочник предназначается для рабочих и бригадиров термических цехов.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
30
Диаграммы состояния систем на основе алюминия и магния: справочник / Институт металлургии АН СССР им. А. А. Байкова АН СССР (М.); отв. ред. Н. Х. Абрикосов. — М.: Наука, 1977. — [227] с.: граф. — 2.10.
Справочник, включающий все известные к настоящему времени диаграммы, издается впервые. В нем обобщены литературные, а также собственных данные авторов о строении многокомпонентных систем на основе легких металлов, В справочнике также приведены сведения об основных типах взаимодействия в двойных системах и свойства металлических соединений. В приложении приводятся составы и свойства наиболее часто употребляемых сплавов, а также данные о реактивах для выявления микроструктуры алюминиевых и магниевых сплавов и образующихся в них металлических фаз. Справочник предназначен для широкого круга научных и инженерно-технических работников, занятых физико-химическими исследованиями в области легких сплавов, а также разработкой новых сплавов, технологии литья, термической обработки и пластической деформации. Может быть полезен для преподавателей, аспирантов и студентов высших учебных заведений, специализирующихся в области физико-химического анализа, физики и химии металлических сплавов, металловедов и металлургов, работающих в области цветных металлов и сплавов.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи