| 1 |
|
Микролитография. Принципы, методы, материалы : в двух частях / У. Моро. — М.; : Мир.
:. — М.: Мир, 1990. — 605 с.: граф. — Библиогр. в конце глав. — ISBN 5-03-001716-X: 9.12.
|
| 2 |
|
Светочувствительные полимерные материалы / Б. Беднарж [и др.] ; под ред. А. В. Ельцова. — Л.: Химия, 1985. — 296, [1] с.: ил., табл. — Библиогр.: с. 283-197. — 3.70. |
| 3 |
|
Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника: физика, технология, диагностика и моделирование: [посвящ. 70-летию со дня рождения А. А. Орликовского] / Физико-технологический институт РАН; отв. ред. В. Ф. Лукичев. — М.: Наука, 2008. — 246, [1] с.: ил.; 24 см. — (Труды ФТИАН / Рос. акад. наук, Физ.-технол. ин-т ; гл. ред. К. А. Валиев, 0868-7129). — Библиогр. в конце ст. — ISBN 978-5-02-036641-1: 229.50.
Сборник посвящен актуальным проблемам математического моделирования субмикронных технологий и квантовых наноприборов. Основное внимание уделено наиболее важным проблемам, таким как фотолитография, травление и осаждение тонких пленок, электронная литография, надежность соединений и корпусов микросхем, квантовое поведение нанотранзисторов. Отдельно рассмотрены квантовые модели структур с пониженной размерностью, спиновых структур, методы квантовой обработки и передачи информации, в частности квантовой криптографии. Обсуждается возможность построения полномасштабного твердотельного квантового компьютера на ядерных спинах кремния. Для специалистов в области микро- и наноэлектроники, аспирантов и студентов старших курсов соответствующих специальностей.
|
| 4 |
|
Справочник по технологии микроэлектронных устройств / З. Ю. Готра. — Львов: Каменяр, 1986. — 287 с.: ил. — Библиогр.: с. 284-285. — 1.00.
В справочнике приводятся данные о материалах, которые применяются при производстве микроэлектронных устройств, о способах очистки, механической, химической и электромеханической обработки. Рассмотрены вопросы диффузии, эпитаксии, выращивания монокристаллов полупроводников, вакуумного напыления, литографии и сборки в производстве микроэлектронных устройств. Для специалистов, работающих в области технологии микроэлектронных устройств, может быть полезен учащимся профтехучилищ соответствующего профиля.
|
| 5 |
|
Технология микроэлектронных устройств: Справочник / З. Ю. Готра ; рец. Ю. З. Бубнов. — М.: Радио и связь, 1991. — 528 с.: табл. — Библиогр.: с. 526. — ISBN 5-256-00699-1: 4.00.
Рассмотрены механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств. Обобщены данные по выращиванию монокристаллов, диффузии, эпитаксии, ионной имплантации, технологии тонких пленок, литографии, сборке и герметизации. значительное внимание уделено контролю, обеспечению качества и надежности при изготовлении микроэлектронных устройств. Для инженерно-технических работников, мастеров и квалифицированных рабочих, занимающихся производством МЭУ.
|
| 6 |
|
Физические основы микротехнологии / И. Броудай, Д. Мерей ; пер. с англ. В. А. Володина [и др.], под ред. А. В. Шальнова. — М.: Мир, 1985. — 494 с.: ил. — Предм. указ.: с. 484-492. — Библиогр.: с. 465-483. — 2.60.
|
| 7 |
|
Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника: физика, технология, диагностика и моделирование: [сб. ст.] / отв. ред. А. А. Орликовский. — М.: Наука, 2005. — 414,[1] с.: ил.; 24 см. — (Труды ФТИАН / Рос. акад. наук, Физ.-технол. ин-т ; гл. ред. К. А. Валиев, 0868-7129). — Библиогр. в конце ст. — ISBN 5-02-033950-4: 194.00. |
| 8 |
|
Фоторезисты-диффузанты в полупроводниковой технологии / Е. Г. Гук [и др.] ; отв. ред. А. В. Ельцов; АН СССР, Физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе. — Л.: Наука. Ленинградское отделение, 1984. — 117 с.: ил. — Библиогр. в конце ст. — 1.30. |
| 9 |
|
Справочник Шпрингера по нанотехнологиям : в 3-х томах / Московский государственный институт электронной техники (технический университет) (М.), Научно-производственный комплекс "Технологический центр" ; под ред. Б. Бхушана, пер. с англ. под общей ред. А. Н. Саурова.
:. — М.: Техносфера, 2010. — 864 с.: ил. — Изд. осуществлено при финансовой поддержке РФФИ по проекту № 09-08-07050-д. — Библиогр. в конце глав. — ISBN 978-5-94836-262-5: 1300.00.
Первое издание справочника по нанотехнологиям. выпущенное крупнейшим немецким издательством "Шпрингер" в 2004 году, заявило о себе как об основном источнике информации в области научных знаний о нанотехнологиях. Справочник объединяет сведения по технология, механике. материаловедению и надежности. Второе издание увеличилось с 6 до 8 частей, с 38 до 58 глав. Первая часть - введение в наноструктуры и технологии изготовления микро- и наноструктур. включая используемые при этом методы и материалы. Вторая часть справочника посвящена МЭМС/НЭМС и БиоМЭМС/БиоНЭМС приборам. Различные типы сканирующей зондовой микроскопии рассмотрены в третьей части. Четвертая часть посвящена обору нанотрибологии и наномеханики. Обзор смазок на пленках молекулярной толщины представлен в пятой части справочника. Шестая часть знакомит читателя с некоторыми применениями нанотехнологий в промышленном масштабе. седьмая сфокусирована на надежности микроприборов. И, наконец, последняя посвящена технологической конвергенции, которую несут с собой нанотехнологии, в ней также рассмотрены социальные, этические и политические последствия нанотехнолоий. Предметный указатель приведен в конце третьего тома. Книга подготовлена опытным редактором и написана командой из 150 известных международных экспертов. Она адресована инженерам-механикам и инженерам-электрикам. специалистам по материаловедению, медикам и химикам, которые работают в области нано-, или в областях, так или иначе связанных с этой новой важнейшей технологией.
|
| 10 |
|
Фото-, электронно- и рентгенорезисты / Ю. С. Боков. — М.: Радио и связь, 1982. — 136 с.: ил. — (Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры). — Библиогр.: с. 129-135. — 0.50.
|