В книге даны основные представления о физике вакуума; рассмотрены процессы переноса при низких давлениях, сорбционные процессы, течение газов по трубопроводам; обсуждены принципы действия основных типов вакуумных насосов, их характеристики и возможности непользования в различных системах откачки; описаны способы измерения вакуума, анализ парциальных давлений, течеискание; приведены типовые схемы вакуумных машин и установок, дан общий порядок расчета и проектирования вакуумных систем.Предназначается для студентов специальности "Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение".

Книга крупного специалиста в области вакуумной техники, академика Польской Академии наук и почетного члена ряда зарубежных академий Я. Грошковского представляет собой монографию, в которой на современном уровне рассматриваются физика и техника высокого вакуума, методы его получения и измерения. Это существенно переработанное и дополненное издание книги "Технология высокого вакуума" того же автора, которая вышла в русском переводе в 1957 г. и приобрела широкую известность среди специалистов.Книга отличается четкостью структуры и ясностью изложения. Поэтому она окажется полезной широкому кругу научных работников, преподавателей высших учебных заведений, инженеров, заводских лабораторий, химиков, металлургов и других специалистов, а для студентов вузов соответствующих специальностей она будет хорошим учебным пособием.