Монография посвящена физике и применению диэлектрических пленок в кремниевых приборах наноэлектроники. Рассмотрены строение пленок оксида и нитрида кремния, полупроводниковые нанокристаллы в диэлектрических пленках, электронная структура диэлектриков с высокойо диэлектрической проницаемостью, технология структур кремний-на-изоляторе, физика приборов флэш-памяти. Монография предназначена для научных сотрудников и и инженеров, специализирующихся в области физики полупроводников и полупроводниковых приборов, бакалавров. магистрантов и аспирантов, обучающихся по микроэлектронике и физике твердого тела.

Сборник составлен по материалам докладов, представленных на совещании по "Электрогидродинамике и электрофизике жидких диэлектриков" с целью отражения основных результатов, полученных к настоящему времени специалистами, работающими в этой быстроразвивающейся области науки. В материалах настоящего сборника освещены теоретические и экспериментальные вопросы конденсаторостроения, механизмы проводимости и зарядообразования в диэлектрических материалах, устройство и работа современных высоковольтных источников питания.Сборник рассчитан на научных сотрудников, инженеров, аспирантов и студентов.ОКБ "Новик" при Санкт-Петербургском университете.