В книге обозначены и насколько возможно полно раскрыты современные тенденции и подходы в разработке СВЧ плазмохимического оборудования и нанотехнологий на его основе. Излагаются математическая теория диффузионных процессов и основы теории плазмы газового разряда в магнитном поле, описаны применяемые методы решения стохастических дифференциальных уравнений и уравнений Фоккера-Планка-Колмогорова. Даны обобщение и системное изложение опыта и результатов по разработке физико-технических основ новых типов микроволновых плазменных устройств. Приведены результаты практического использования разработанных микроволновых источников плазмы. Материалы книги могут быть задействованы в учебном процессе в качестве спецкурсов или спецсеминаров для студентов вузов соответствующего профиля.

Книга написана на основе курса лекций, читанных автором для студентов Московского физико-технического института. В ней детально изложены приципы работы наиболее широко распространенных спектральных приборов. Подробно рассмотрены спектроскопические и фотометрические характеристики приборов, аппаратурные ошибки измерений, описаны методы измерения линейчатых и непрерывных спектров. Большое внимание уделено рациональному выбору типа спектральных приборов и условий измерения спектра.