Пособие посвящено описанию основных закономерностей физики разреженных газов, теоретических основ процесса откачки газов и паров, взаимодействию газов с поверхностью, технике получения вакуума, измерения полных и парциальных давлений, основам построения вакуумных систем. Описаны основы общей теории рефрижераторов и ожижителей, общие принципы построения схем криогенных установок, представлены принципиальные схемы наиболее распространенных рефрижераторов с нестационарными потоками. Предназначено для магистрантов высших учебных заведений, обучающихся по магистерским программам направления подготовки 140400 «Техническая физика», предусматривающим изучение и использование вакуумной физики и физики низких температур (в том числе и для студентов, осваивающих инновационную магистерскую программу СПбГПУ «Биоэлектроника» данного направления). Может быть использовано обучающимися по направлению 210100 «Электроника и микроэлектроника», а также аспирантами и специалистами, работающими в экспериментальной технической физике.

Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Для преподавателей и студентов. специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов "Физические основы наноэлектроники", "Наноэлектронные технологии", "Физика микроэлектронных структур".