Исследованы особенности многоэлементной ионной имплантации в частотно-импульсном режиме с использованием композиционных катодов системы Ti-B-Si, полученных методом порошковой металлургии. изучены элементный состав и профили распределения имплантированных ионов бора, титана и кремния в поверхностных слоях образцов меди и стали. Обсуждаются факторы, способствующие формированию глубоких имплантированных слоев с высокой концентрацией бора и кремния.

Исследованы особенности ионной многоэлементной имплантации в импульсном режиме с использованием композиционных катодов состава TiC+Al и TiC+Si. на основе изучения элементного состава модифицированной поверхности мишеней из молибдена, стали 45 и меди выявлены общие закономерности в распределении профилей различных имплантированных элементов. Показано, что одновременное внедрение различных элементов обеспечивает более эффективное высокодозовое легирование материалов по сравнению с одноэлементной имплантацией.